激光剥蚀系统采购询价

来源:地调局资源所 发布时间:2023-04-07

 我所拟采激光剥蚀系统1套,现进行公开询价。 

  一、采购内容:激光剥蚀系统1套,需提供相关售后,培训,保修服务;

二、主要配置包括激光源、激光传输系统、成像系统、气路传输系统、双体积样品池和样品台及控制系统

1. 激光源

1.1.     激光输出波长193nm

1.2.     激光脉冲宽度:5ns

1.3.     激光脉冲能量稳定性:≤3% RSD

1.4.     最大脉冲能量:8mJ

1.5.     最大重复频率:200Hz

2.   激光传输系统

2.1.     激光能量密度可进行1-100%调整

2.2.     束斑尺寸:光斑尺寸范围2um-150µm,13个光斑可选

2.3.     样品表面最大激光能量密度:≥12 J/cm2

3.   成像系统

3.1   高倍视频显微镜系统:Zoom 0-100%,软件可调

3.2   照明设备:具有同轴光源、环形光源、透射光源,软件控制调节亮度

4.   气路传输系统

4.1.   氦气MFC流量范围 1-1000ml/min连续可控

4.2.   具备OnlineBypassPurge功能,可快速更换样品

5.   双体积样品池和样品台

5.1.   样品池尺寸(有效使用范围):≥100mm*100mm

5.2.   激光窗口:单波长193 nm的激光窗镜1

5.3    样品台X-Y轴驱动平台平面移动范围≥100mm*100mm

6.   控制系统

6.1.     主机1台,显示器1台≥23寸。

6.2.     专用软件配置:带有全面控制激光剥蚀系统的专用软件,具有和质谱仪通讯连接的功能,可以与任何主流ICP-MS联机使用,实现数千个样品点的自动运行。

三、报价方式:根据预算及采购内容,报出激光剥蚀系统1台(包含运输和相关培训费用)并将产品报价单邮寄我所,最后以性能满足要求,报价低,售后服务好者中标。    

四、询价起止时间:20234月7日-2022411    

 联系人:侯老师

  话: 010-6899964428900406@qq.com