阴极荧光（SPARC Compact）询价公示

一、采购内容：

阴极荧光（SPARCCompact）1套，需提供相关售后，培训，保修服务。

二、技术要求：  

1. CL功能：

1.1具备单色、全色、RGB CL成像。

1. 2. CL信号收集与二次电子收集同步。
   3. CL图像与SEM成像自动叠加。

2. 主机：

      2.1 仪器可与主流SEM完美耦合，实现多种成像功能。

      2.2 系统紧凑，无需光学平台，直接与SEM预留平口，用法兰无缝集成，满足扫描装置真空度要求。

      2.4 CL光谱范围：185-870nm。

2.5 光路系统、收集镜、8位滤波轮片组、探测器等核⼼组件具有自由拓展性（后期可加装谱分析功能模块、可升级光谱采集范围由紫外至近红外）

3. CL信号采集装置

3.1 软件自动控制收集镜校准，样品与收集镜相对位置不影响光子收集效率，均可获得最优对准和收集。

3.2收集镜电动回退。在不使用CL表征时，完全恢复SEM到原始状态，不影响SEM现有表征能力和样品尺寸规格，电镜工作距离（WD）可达到5mm。

3.3金刚石可控波纹加工半抛物采集镜，表⾯粗糙度小于20nm，高通光效率。

3.4 CL收集效率⾼，总效率可优于81%（Lambertian source），NA=0.95。

3.5 收集镜安装在步进电机驱动平台，软件可视化⾃动调整, X/Y精准对位，定位精度<1um。

4.滤光轮附件

4.1位电动控制滤光轮

4.2 滤光片指标: 50nm bandpass OD4 filters. CW 400, 450, 500,550, 600, 650, 700 nm，滤光片可根据用户应用需求定制，同时兼容用户自己购买的符合尺寸的滤光片。

4.3 带电动滤光轮的光电倍增管可以进行快速全色和彩色滤光CL光强映射，可根据用户应用需求定制波段优化的PMT，安装简易。

4.4用户经培训可以自由选择、安装和替换滤光器。

5. 专业CL光谱采集，数据处理开源软件

5.1 软件可进行包括仪器控制、数据采集、计算和处理及曲线拟合等各项功能。Python语言编写，数据格式支持OME-TIFF，HDF5，可导出到第三方分析软件如MATLAB进⼀步处理。

5.2 软件可在X/Y 方向控制电子术扫描，同步SEM成像和CL成像。

5.3 软件自带漂移矫正功能，与峰值匹配功能

5.4 可选购CL自动拼图功能。

5.5 软件免费更新，并免费提供window和linuxdataviewer软件，用于查看结果，不限用户端口数量。

三、报价方式：

配置内容不得减少。根据预算及采购内容，报出阴极荧光（SPARCCompact）1套（包含运输和相关培训费用）并将相关资料（如公司营业执照、产品报价单等）盖章后邮寄我所，最后以性能满足要求，报价低，售后服务优秀者中标。  

四、询价起止时间： 2023年9月26日-2023年9月28日   

　　　　 联系人：谢老师

　　　　 电 话：18518766076